Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Институт вычислительных технологий СО РАН

Листинг всех работ организации. Нажмите на название работы для того, чтобы получить по ней полную информацию.

2012 
  Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде
2014 
  Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н.
Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2
 

Copyright © 2009-2024 ИППМ РАН. All Rights Reserved.

Разработка сайта - ИППМ РАН