Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Институт вычислительных технологий СО РАН

---

Листинг всех работ организации. Нажмите на название работы для того, чтобы получить по ней полную информацию.

2012
		Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде
2014
		Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н. Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2