Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование технологического процесса формирования катодно-сеточного узла и его эмиссионных свойств
Авторы
	Дюжев Н.А.
	Махиборода М.А.
	Гусев Е.
	Грязнева Т.
	Демин Г.Д.
Год публикации
	2016
УДК
	537.533.2
Аннотация
	В работе представлен результат моделирования в программном пакете TCAD технологического процесса создания катодно-сеточного узла (КСУ), состоящего из автоэмиссионного катода и сеточных управляющих электродов. Представлен процесс формирования и заострения иглы катода, основанный на стандартной кремниевой технологии групповой обработки пластин. Предложенный технологический маршрут позволяет осуществить вскрытие самосовмещённых эмиттерных областей в сеточном слое без проведения дорогостоящих операций фотолитографии либо химико-механической полировки. На основе полученной в TCAD структуры КСУ с использованием средств COMSOL MultiPhysics проведен расчёт вольт-амперных характеристик автоэмиссионного триода, которые хорошо согласуются с результатами экспериментальных измерений полевой эмиссии в триоде, полученными на специально разработанном для этих целей измерительном стенде.
Ключевые слова
	автоэлектронная эмиссия, катодно-сеточный узел, вакуумные интегральные схемы, TCAD
Ссылка на статью
	Дюжев Н.А., Махиборода М.А., Гусев Е., Грязнева Т., Демин Г.Д. Моделирование технологического процесса формирования катодно-сеточного узла и его эмиссионных свойств // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 37-42.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D159.pdf