| Метод приборно-технологического моделирования свет-сигнальных характеристик элементов КМОП-фотодиодных СБИС |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Кононов А. |
| | Пугачёв А.А. |
| Год публикации |
| | 2016 |
| УДК |
| | 621.383.3 |
|
| Аннотация |
| | предложен метод приборно-технологического моделирования ячеек фоточувствительных КМОП-ФД СБИС, позволяющий в двумерном приближении учесть как реальную топологию, так и объемную структуру профиля легирующих примесей ячейки. Метод реализован в системе Sentaurus TCAD (Synopsys) и применен при проектировании КМОП-ФД СБИС. |
| Ключевые слова |
| | КМОП-ФД ячейка; приборно-технологическое моделирование; Sentaurus TCAD (Synopsys) |
| Ссылка на статью |
| | Кононов А., Пугачёв А.А. Метод приборно-технологического моделирования свет-сигнальных характеристик элементов КМОП-фотодиодных СБИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 100-106. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D107.pdf |
