| Анализ влияния формы мембраны на механическую прочность и стабильность параметров МЭМС-сенсоров давления |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Власов А.И. |
| | Цивинская Т.А. |
| | Шахнов В.А. |
| Год публикации |
| | 2016 |
| УДК |
| | 612.014 |
|
| Аннотация |
| | Статья посвящена анализу особенностей использования монокристаллического кремния в качестве конструкционного материала чувствительных элементов МЭМС. Основное внимание уделено анализу моделей рабочих кремниевых мембран чувствительного элемента преобразования давления, полученных разными методами: жидкостным анизотропным травлением и магнетронным методом сухого травления. |
| Ключевые слова |
| | монокристаллический кремний, микродефекты, механические деформации, кремниевая мембрана, МЭМС - сенсоры |
| Ссылка на статью |
| | Власов А.И., Цивинская Т.А., Шахнов В.А. Анализ влияния формы мембраны на механическую прочность и стабильность параметров МЭМС-сенсоров давления // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 65-70. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D084.pdf |
