Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Исследование электрических характеристик КМОП-КНИ- структур с проектными нормами 0.5 мкм для высокотемпературной электроники
Авторы
	Чаплыгин Ю.А.
	Крупкина Т.Ю.
	Красюков А.Ю.
	Артамонова Е.А.
Год публикации
	2016
УДК
	621.3.049.771
Аннотация
	Проведено исследование электрических характеристик КНИ-КМОП-транзисторов с проектными нормами 0.5 мкм при температурах окружающей среды -60 оС, +25 оС и +225 оС. Проведено исследование влияния технологического разброса и эффекта саморазогрева на электрические характеристики КМОП структуры при различных температурах, в частности, рассчитаны зависимости порогового напряжения, тока насыщения и тока утечки от дозы подлегирования канала.
Ключевые слова
	КНИ, КМОП, саморазогрев, высокометратурная электроника, моделирование TCAD
Ссылка на статью
	Чаплыгин Ю.А., Крупкина Т.Ю., Красюков А.Ю., Артамонова Е.А. Исследование электрических характеристик КМОП-КНИ- структур с проектными нормами 0.5 мкм для высокотемпературной электроники // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 10-15.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D056.pdf