Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Оптимальное проектирование МЭМС-элемента приёмника ИК изображения на основе термопары
Авторы
	Федирко В.А.
	Хафизов Р.З.
	Фетисов Е.А.
Год публикации
	2016
УДК
	621.382.001
Аннотация
	Рассмотрена задача оптимизации конструкции МЭМС-элемента неохлаждаемого приёмника изображения в инфракрасном диапазоне на основе термопары в качестве термосенсора. Получены соотношения, оптимальным образом реализующие заданные выходные характеристики приёмника. Представлены результаты компьютерного моделирования оптимизированного элемента тепловизионной матрицы и оценки его выходных характеристик.
Ключевые слова
	ИК-фотоприёмники изображения, термопара, термо-ЭДС, термосенсор, проектирование ИК-фотоприемника, оптимизация, компьютерное моделирование, МЭМС-технологии
Ссылка на статью
	Федирко В.А., Хафизов Р.З., Фетисов Е.А. Оптимальное проектирование МЭМС-элемента приёмника ИК изображения на основе термопары // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 59-64.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D027.pdf