| Исследование ячейки КМОП-совместимого ЭСППЗУ |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Ермаков И.В. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | [004.087.2+004.076.4]:621.3.049.77 |
|
| Аннотация |
| | Представлены характеристики экспериментальной ячейки ЭСППЗУ с толщиной туннельного окисла 7 нм, изготовленной в стандартном КМОП-процессе с проектными нормами 0,18 мкм. Исследованы зависимости порогового напряжения ячейки памяти от времени и напряжения записи/стирания, от количества циклов перезаписи и количества суток отжига при температурах 100 и 150С. Дополнительно исследована ячейка памяти с толщиной туннельного окисла 3,2 нм. Для исследуемых ячеек памяти определены значения энергии активации и рассчитаны времена хранения информации при разных температурах. |
| Ключевые слова |
| | КМОП, ЭСППЗУ, флэш-память, плавающий затвор, ячейка памяти |
| Ссылка на статью |
| | Ермаков И.В. Исследование ячейки КМОП-совместимого ЭСППЗУ // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 173-178. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D173.pdf |
