| Многоэлементные ИК МЭМС-сенсоры с термопарными преобразователями теплового излучения |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Хафизов Р.З. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | УДК 621.382.001 |
|
| Аннотация |
| | Рассмотрены состояние и перспективы разработок многоэлементных ИК МЭМС-сенсоров с термопарными преобразователями теплового излучения. Проанализированы возможности оптимизации параметров чувствительных термопарных МЭМС- элементов с использованием материалов и процессов КМОП-технологии. |
| Ключевые слова |
| | эффект Зеебека, тепловое излучение, микроэлектромеханическая система (МЭМС), приемник инфракрасного (ИК) изображения, ИК МЭМС-сенсор. |
| Ссылка на статью |
| | Хафизов Р.З. Многоэлементные ИК МЭМС-сенсоры с термопарными преобразователями теплового излучения // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 193-196. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D135.pdf |
