| Погрешность и адекватность аналитического моделирования распределения температуры в тепловых микросистемах |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Козлов А.Г. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | УДК 681.586.6 |
|
| Аннотация |
| | Представлен метод оценки погрешностей при аналитическом моделировании распределения температуры в тепловых микросистемах, обусловленных заменой реальных многослойных структур зон эквивалентными структурами с однородными параметрами и применением условий сопряжения для зон с разной толщиной. Метод заключается в аналитическом моделировании распределения температуры по толщине в реальной и эквивалентной структурах тепловой микросистемы. Каждая двумерная структура разделяется на ряд прямоугольных зон, для которых определяются распределения температуры методом собственных функций. Из сравнения полученных распределений температуры определяется средневзвешенная по модулю относительная погрешность моделирования. Получены зависимости погрешности распределения температуры от длины зон структуры при различных коэффициентах теплопроводности материалов зон. Проведено сравнение распределений температуры в реальной структуре тепловой микросистемы, полученных с помощью тепловизионной системы и в результате моделирования. |
| Ключевые слова |
| | тепловая микросистема, распределение температуры, метод собственных функций, погрешность моделирования, адекватность моделирования |
| Ссылка на статью |
| | Козлов А.Г. Погрешность и адекватность аналитического моделирования распределения температуры в тепловых микросистемах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 167-172. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D093.pdf |
