| Параллельный алгоритм трансформации слоя топологии субмикронных СБИС с произвольной геометрией для технологии двойного шаблона |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Шахнов В.А. |
| | Зинченко Л.А. |
| | Верстов В.А. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | 004.272.43:004.42 |
|
| Аннотация |
| | В работе предложены подход к трансформации топологии СБИС с неманхеттеновской топологией; параллельный алгоритм трансформации слоя топологии субмикронных СБИС для технологии двойного шаблона, ориентированный на применение высокопроизводительных вычислительных систем. |
| Ключевые слова |
| | СБИС, технология двойного шаблона, трансформация топологии, параллельный алгоритм. |
| Ссылка на статью |
| | Шахнов В.А., Зинченко Л.А., Верстов В.А. Параллельный алгоритм трансформации слоя топологии субмикронных СБИС с произвольной геометрией для технологии двойного шаблона // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 1. С. 137-142. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D072.pdf |
