Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Терморезистивный преобразователь скорости потока газа мембранного типа
Авторы
	Беспалов В.А.
	Васильев И.А.
	Дюжев Н.А.
	Мазуркин Н.С.
	Новиков Д.В.
	Попков А.Ф.
Год публикации
	2014
УДК
	681.121.832
Аннотация
	В данной работе рассматривается терморезистивный первичный преобразователь скорости потока мембранного типа на основе калориметрического принципа работы, разрабатываемый для теплового датчика расхода газа. Проведено исследование влияния конструктивных параметров преобразователя на его выходные характеристики. С помощью методов численного моделирования рассчитана оптимальная конструкция преобразователя и на основе полученных результатов создан экспериментальный образец. Приводится сравнение результатов расчетной модели и эксперимента. Полученными данными можно руководствоваться при выборе конструкции преобразователя скорости по-тока для теплового датчика расхода конкретного назначения.
Ключевые слова
	Первичный преобразователь скорости, тепловой датчик расхода, терморезистор, МЭМС, моделирование.
Ссылка на статью
	Беспалов В.А., Васильев И.А., Дюжев Н.А., Мазуркин Н.С., Новиков Д.В., Попков А.Ф. Терморезистивный преобразователь скорости потока газа мембранного типа // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 185-188.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D061.pdf