Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Минимизация числа нежелательных топологий при проектировании стандартных ячеек
Авторы
	Рыженко Н.В.
	Сорокин А.А.
	Быков С.А.
	Талалай М.С.
Год публикации
	2014
УДК
	519.688
Аннотация
	С переходом на нанометровые технологии производства становится актуальным новый класс геометрических правил. Правила описывают конфигурации топологии, присутствие которых в маске допустимо, но нежелательно для оптической литографии. Минимизация числа нежелательных топологий увеличивает выход годных полупроводников интегральных устройств. В данной работе представлен алгоритм минимизации нежелательных топологий при проектировании стандартных ячеек. Ключевыми компонентами алгоритма являются: представление геометрических правил с помощью булевых выражений состояний дискретных объектов топологии и использование задачи булевой выполнимости для поиска допустимого решения с заданными ограничениями. Экспериментальные результаты показали применимость предложенного подхода для широкого класса геометрических правил и типов стандартных ячеек.
Ключевые слова
	трассировка, стандартные ячейки, библиотека элементов, булева выполнимость, оптическая литография
Ссылка на статью
	Рыженко Н.В., Сорокин А.А., Быков С.А., Талалай М.С. Минимизация числа нежелательных топологий при проектировании стандартных ячеек // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 1. С. 121-126.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D038.pdf