| Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Чаплыгин Ю.А. |
| | Крупкина Т.Ю. |
| | Красюков А.Ю. |
| | Артамонова Е.А. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | 621.3.049.771 |
|
| Аннотация |
| | Проведено исследование возможности повышения магниточувствительности элемента Холла, формируемого на основе КМОП-совместимого технологического маршрута. Относительная токовая чувствительность элемента Холла была увеличена с 236 до 1500 В/(А*Тл) за счет изменения топологии маски для легирования активной области прибора. |
| Ключевые слова |
| | датчик Холла, магниточувствительный элемент, КМОП |
| Ссылка на статью |
| | Чаплыгин Ю.А., Крупкина Т.Ю., Красюков А.Ю., Артамонова Е.А. Исследование влияния топологии КМОП-совместимого элемента Холла на его магниточувствительность // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 179-184. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D007.pdf |
