| О применении динамически перестраиваемых диаграмм Вороного к контролю технологических правил |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Шеблаев М.В. |
| | Ерохин Р. |
| | Яхонтов А. |
| Год публикации |
| | 2012 |
| УДК |
| | 519.658, 519.677 |
|
| Аннотация |
| | В данной статье рассмотрено приложение алгоритма динамической модификации диаграммы Вороного для манхэттеновских многоугольников к задаче проверки технологических правил для субмикронных процессов |
| Ключевые слова |
| | трассировка, диаграмма Вороного, WBC, алгоритм Клейна |
| Ссылка на статью |
| | Шеблаев М.В., Ерохин Р., Яхонтов А. О применении динамически перестраиваемых диаграмм Вороного к контролю технологических правил // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 247-250. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D157.pdf |
