| Автоматизированная пикосекундная лазерная установка для моделирования эффектов от отдельных заряженных частиц космического пространства в микроэлектронных приборах |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Егоров А.Н. |
| | Маврицкий О.Б. |
| | Чумаков А.И. |
| | Печенкин А.А. |
| | Кольцов Д.О. |
| Год публикации |
| | 2012 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Представлены основные технические характеристики автоматизированной установки для моделирования локальных радиационных эффектов, созданной на основе перестраиваемого по длине волны твердотельного пикосекундного лазера. Обсуждаются ее конструктивные особенности, возможности и преимущества для моделирования эффектов от отдельных заряженных частиц космического пространства в современных микроэлектронных приборах на основе Si, GaAs, SiGe и др. |
| Ключевые слова |
| | отдельная заряженная частица; локальный радиационный эффект; радиационная стойкость; пикосекундный лазер; сфокусированное лазерное излучение |
| Ссылка на статью |
| | Егоров А.Н., Маврицкий О.Б., Чумаков А.И., Печенкин А.А., Кольцов Д.О. Автоматизированная пикосекундная лазерная установка для моделирования эффектов от отдельных заряженных частиц космического пространства в микроэлектронных приборах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 604-607. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D124.pdf |
