Опыт разработки матричных фотоприёмников с зарядовой связью с межстрочным переносом

Костюков, Евгений Вильевич; Михайличенко, О.В.; Морозов, В.Ф.; Скрылёв, А.С.; Морозов, В.Ф.; Трунов, С.В.

Главная Авторы Статьи Год проведения Тематика Организации Конференция МЭС

Авторы

Год публикации

2005

УДК

621.38

Аннотация

Разработанны конструктивно-технологические подходы к проектированию современных матричных ФПЗС, и методики расчета и оптимизации топологии и технологических режимов изготовления их структур, которые обеспечили не только успешную разработку таких приборов, но и создание правил проектирования приборов следующего поколения с проектными нормами порядка 0,8мкм.

Ключевые слова

матричные фотоприёмники, ПЗС с межстрочным переносом

Ссылка на статью

Костюков Е.В., Михайличенко О.В., Морозов В.Ф., Скрылёв А.С., Морозов В.Ф., Трунов С.В. Опыт разработки матричных фотоприёмников с зарядовой связью с межстрочным переносом // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2005. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2005. С. 320-327.

Адрес статьи

http://www.mes-conference.ru/data/year2005/48.doc