| Предварительная обработка экспериментальных данных в статистическом проектировании изделий микроэлектроники |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Малышев В.С. |
| | Павлов П.Г. |
| | Стемпицкий В.Р. |
| Год публикации |
| | 2010 |
| УДК |
| | 519.248 |
|
| Аннотация |
| | Представлены результаты исследований по выбору и практической реализации математических методов предварительного анализа и статистической обработки экспериментальных данных, полученных при промышленных измерениях результатов формирования элементов ИМС |
| Ключевые слова |
| | Интегральная микросхема, субмикронная технология, статистический анализ, статистическое распределение, тренд, методы сглаживания. |
| Ссылка на статью |
| | Малышев В.С., Павлов П.Г., Стемпицкий В.Р. Предварительная обработка экспериментальных данных в статистическом проектировании изделий микроэлектроники // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 60-65. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-183-20792.pdf |
