| Технология плазмо-каталитического роста углеродных наноструктур: особенности и применение в автоэмиссионных схемах |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Петрухин Г.Н. |
| Год публикации |
| | 2010 |
| УДК |
| | 621.537.525.2:537.533.2-022.532 |
|
| Аннотация |
| | В работе представляются особенности PECCVD технологии роста углеродных наноструктур. Показана возможность контролируемого роста наноструктур определенного типа с помощью вариации величины постоянного поля, приложенного перпендикулярно к поверхности образца. Приводится сравнительный анализ автоэмиссионных характеристик полученных углеродных наноструктур. Обсуждаются результаты применения описываемой технологии в гибридных и планарных схемах. Обращается внимание на проблемы использования PECCVD метода при изготовлении планарных схем. |
| Ключевые слова |
| | углеродные наноструктуры, автоэмиссия. |
| Ссылка на статью |
| | Петрухин Г.Н. Технология плазмо-каталитического роста углеродных наноструктур: особенности и применение в автоэмиссионных схемах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 632-637. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-323-27281.pdf |
