| Математическое моделирование распределения температуры в тепловых микросенсорах |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Козлов А.Г. |
| Год публикации |
| | 2010 |
| УДК |
| | 681.586.6 |
|
| Аннотация |
| | Представлен метод аналитического моделирования распределения температуры в тепловых микросенсорах с термически изолированными структурами. Двумерная структура разделяется на ряд прямоугольных зон, для каждой из которых определяются условия теплообмена с окружающей средой и соседними зонами. Распределение температуры в каждой зоне находится методом Фурье. Плотности тепловых потоков между соседними зонами представлены как суммы соответствующих ортогональных функций с неизвестными весовыми коэффициентами, значения которых определяются из граничных условий сопряжения между всеми соседними зонами. Система уравнений для неизвестных весовых коэффициентов является системой линейных уравнений. В качестве примера представлено определение распределения температуры в конкретной структуре микроболометрической ячейки, изготовленной травлением жертвенного слоя. |
| Ключевые слова |
| | тепловые микросенсоры, распределение температуры, метод Фурье, микроболометр |
| Ссылка на статью |
| | Козлов А.Г. Математическое моделирование распределения температуры в тепловых микросенсорах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 76-79. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-243-4982.pdf |
