Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Наноэлектромеханические термочувствительные элементы
Авторы
	Фетисов Е.А.
	Федирко В.А.
	Хафизов Р.З.
	Золотарев В.И.
	Зенюк Д.А.
	Рудаков Г.А.
Год публикации
	2010
УДК
	621.382.001
Аннотация
	В работе представлены результаты разработки, моделирования и экспериментальных исследований ИК фоточувствительных нано-механических и нано-электромеханических элементов. По предельным характеристикам они сопоставимы с фотоприемниками с глубоким охлаждением. Отсутствие необходимости охлаждения и относительная дешевизна делает их весьма привлекательными для применения в медицине, промышленной термографии и в ряде других отраслей.
Ключевые слова
	ИК-фотодетекторы, МЭМС, НЭМС, НОЭМС, микрокантилевер.
Ссылка на статью
	Фетисов Е.А., Федирко В.А., Хафизов Р.З., Золотарев В.И., Зенюк Д.А., Рудаков Г.А. Наноэлектромеханические термочувствительные элементы // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 638-641.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-185-71281.pdf