| КМОП-фотоприемный элемент с высокой эффективностью сбора фотогенерированных носителей заряда |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Пугачев А.А. |
| | Стемпковский А.Л. |
| Год публикации |
| | 2010 |
| УДК |
| | 621.383.001.66 |
|
| Аннотация |
| | Предлагается структура КМОП-фотоприемного элемента, обеспечивающая высокую эффективность сбора фотогенерированных носителей заряда. Специальные эпитаксиальные слои позволяют создать внутренние электрические поля, направляющие электроны к области фотодиода элемента. С помощью приборно-технологического моделирования произведена оценка конструктивно-технологических параметров элемента. |
| Ключевые слова |
| | КМОП фотоприемник, структура элемента, двумерное моделирование, фактор заполнения |
| Ссылка на статью |
| | Пугачев А.А., Стемпковский А.Л. КМОП-фотоприемный элемент с высокой эффективностью сбора фотогенерированных носителей заряда // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2010. Сборник трудов / под общ. ред. академика А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2010. С. 648-653. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2010/papers/m10-144-65161.pdf |
