Главная
Авторы Статьи Год проведения Тематика Организации Конференция МЭС
| Применение методики неразрушающего контроля дозовой стойкости партий КМОП КНС БИС |
|
|
| Авторы |
| | Давыдов Г.Г. |
| | Согоян А.В. |
| | Петров А.Г. |
| | Артамонов А.С. |
| | Яшанин И.Б. |
| | Скобелев А.В. |
| | Седаков А.Ю. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Рассмотрены способы применения методики неразрушающего контроля стойкости КМОП
КНС БИС к дозовым воздействиям. Показана эффективность разбраковки корпусированных БИС, а также кристаллов БИС на пластинах до их корпусирования. Внедрение в технологический маршрут изготовления микросхем операции радиационной отбраковки позволило оптимизировать параметры технологического процесса с целью повышения дозовой стойкости БИС. |
| Ключевые слова |
| | методики неразрушающего контроля, дозовая стойкость, КМОП КНС БИС |
| Ссылка на статью |
| | Давыдов Г.Г., Согоян А.В., Петров А.Г., Артамонов А.С., Яшанин И.Б., Скобелев А.В., Седаков А.Ю. Применение методики неразрушающего контроля дозовой стойкости партий КМОП КНС БИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 280-285. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/51.pdf |
|
|
