| Исследование и оптимизация технологических параметров формирования логической ячейки на структуре "кремний на изоляторе" |
|
|
| Авторы |
| | Долгий Л.Н. |
| | Ефремов В.А. |
| | Нелаев В.В. |
| | Стемпицкий В.Р. |
| Год публикации |
| | 2008 |
| УДК |
| | 621.382 |
|
| Аннотация |
| | Приведены результаты физического моделирования технологии формирования КНИ-структуры и логической КМОП-ячейки на ее базе. С использованием метода поверхности отклика проведена оптимизация параметров технологического процесса изготовления КМОП-ячейки. |
| Ключевые слова |
| | КНИ-структура, физическое моделирование, технологический процесс, оптимизация, метод поверхности откликов |
| Ссылка на статью |
| | Долгий Л.Н., Ефремов В.А., Нелаев В.В., Стемпицкий В.Р. Исследование и оптимизация технологических параметров формирования логической ячейки на структуре "кремний на изоляторе" // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2008. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2008. С. 169-172. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2008/28.pdf |
