| Разработка и проектирование интегральных термоэлементов |
|
|
| Авторы |
| | Амеличев В.В. |
| | Поломошнов С.А. |
| | Чаплыгин Ю.А. |
| Год публикации |
| | 2006 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | В работе представлены основы проектирования интегральных термоэлементов и термомикросистем на их основе. Показан конструктивно-технологический базис для создания термомикросистем с малой потребляемой мощностью (0,5-30 мВт). Особенностью базиса является возможность интеграции термоэлементов с кремниевыми микросхемами на одном кристалле. |
| Ключевые слова |
| | интегральные термоэлементы |
| Ссылка на статью |
| | Амеличев В.В., Поломошнов С.А., Чаплыгин Ю.А. Разработка и проектирование интегральных термоэлементов // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 416-420. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2006/76.pdf |
