| Новый взгляд на применение кристаллов алмаза в микроэлектронике и нанотехнологиях |
|
|
| Авторы |
| | Карасев В.Ю. |
| | Мозгин А.А. |
| Год публикации |
| | 2006 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Представляется новый способ обработки
кристаллов алмаза, позволяющий формировать высококачественные поверхности для проведения ростовых эпитаксиальных процессов. Рассматривается возможность использования различных алмазных поверхностей в микро и нано-электронике. |
| Ключевые слова |
| | применение кристаллов алмаза, микроэлектроника, нанотехнологии |
| Ссылка на статью |
| | Карасев В.Ю., Мозгин А.А. Новый взгляд на применение кристаллов алмаза в микроэлектронике и нанотехнологиях // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 295-299. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2006/53.pdf |
