| Конструктивно-технологические решения алмазных многоэлементных УФ-фотоприемных устройств |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Алтухов А.А. |
| Год публикации |
| | 2022 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2022-4-187-192 |
| УДК |
| | 621.383/ 535.215/ 621.315592.3 |
|
| Аннотация |
| | Приводятся результаты исследований по разработке конструктивно-технологических решений многоэлементных фотоприемных алмазных устройств УФ-диапазона. Приведены результаты применения ионной имплантации бора и азота для формирования заглубленных фоточувствительных слоев. Показано, что полиэнергетическая имплантация больших доз бора позволяет получать слои с высокой проводимостью при комнатной температуре. Полученные экспериментальные зависимости по дозе и энергии ионов демонстрируют возможности создания сильно компенсированных, слаболегированных слоев p-типа и сильнолегированных слоев p+-типа. Показаны конструкция и топология фоточувствительных ячеек на основе ионно-имплантированных слоев матричных алмазных фотоприемников. |
| Ключевые слова |
| | алмаз, фотоприемное устройство, ультрафиолетовый диапазон, многоэлементный фотоприемник, ионная имплантация. |
| Ссылка на статью |
| | Алтухов А.А. Конструктивно-технологические решения алмазных многоэлементных УФ-фотоприемных устройств // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. Выпуск 4. С. 187-192. doi:10.31114/2078-7707-2022-4-187-192 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2022/pdf/D075.pdf |
