Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Разработка технологии изготовления КНИ пластин
Авторы
	Комаров Ф.Ф.
	Мильчанин О.В.
	Белоус А.И.
	Малышев В.С.
Год публикации
	2006
УДК
	621.38
Аннотация
	В работе продемонстрирована возможность создания качественных КНИ пластин с использованием стандартного технологического оборудования. Были разработаны оригинальные методики подготовки поверхностей пластин для связывания (сочетание плазменных, химических и гидромеханических обработок), позволяющие получать границу соединения высокого качества. С использованием многоступенчатого набора дозы имплантации водорода, а также дополнительных низкотемпературных отжигов, в работе показана возможность существенного снижения шероховатости поверхности КНИ пластин вплоть до 2 нм.
Ключевые слова
	изготовления КНИ пластин
Ссылка на статью
	Комаров Ф.Ф., Мильчанин О.В., Белоус А.И., Малышев В.С. Разработка технологии изготовления КНИ пластин // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 284-288.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2006/51.pdf