| Проектирование термопарных сенсоров с повышенным быстродействием на основе структур кремний на изоляторе |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Хафизов Р.З. |
| Год публикации |
| | 2022 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2022-4-193-197 |
| УДК |
| | 621.382.001 |
|
| Аннотация |
| | Проведены теоретическая оценка и аналитическое моделирование теплофизических параметров термопарных сенсоров с учетом требований по размерам сенсоров, их чувствительности и постоянной времени тепловой релаксации. Определены основные соотношения конструктивных элементов чувствительных ячеек с учетом характеристик технологических слоев, входящих в структуру мембран. Полученные результаты использованы в качестве исходных данных для топологического проектирования сенсорных элементов, и матричных массивов на их основе. Проведено проектирование топологии кристаллов с термопарными сенсорами с учетом возможностей технологического оборудования (нормы проектирования 0,8 мкм). |
| Ключевые слова |
| | ИК приемник, микро-электро-механическая система (МЭМС), фотоприемное устройство (ФПУ), термоэлектрический эффект, эффект Зеебека, микротермопара, термопарный сенсор, структура кремний на изоляторе (КНИ), эквивалентная шуму разность температур, постоянная времени тепловой релаксации. |
| Ссылка на статью |
| | Хафизов Р.З. Проектирование термопарных сенсоров с повышенным быстродействием на основе структур кремний на изоляторе // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. Выпуск 4. С. 193-197. doi:10.31114/2078-7707-2022-4-193-197 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2022/pdf/D073.pdf |
