| Повышение эффективности алгоритма автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Ширяев Б.В. |
| | Аргунов Д.П. |
| Год публикации |
| | 2022 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2022-4-56-62 |
| УДК |
| | 004.896 |
|
| Аннотация |
| | В работе приведен разработанный авторами алгоритм автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем и описываются его модификации для повышения эффективности. Осуществленные модификации заключаются в изменение порядка расчёта карты дефектности, введении расчёта средневзвешенного пиксельного расстояния и в изменении веса слоёв фотошаблона. Проведенное тестирование модификаций на наборах микрофотографий монолитных интегральных схем различных топологий показало, что изменение порядка расчёта карты дефектности и изменение коэффициента веса слоёв фотошаблона позволили существенно повысить повторяемость ручного визуального контроля до 98%. |
| Ключевые слова |
| | визуальный контроль, дефектоскопия, карта дефектности, искусственная нейронная сеть, МИС. |
| Ссылка на статью |
| | Ширяев Б.В., Аргунов Д.П. Повышение эффективности алгоритма автоматизированного визуального контроля монолитных интегральных схем // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2022. Выпуск 4. С. 56-62. doi:10.31114/2078-7707-2022-4-56-62 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2022/pdf/D065.pdf |
