| Моделирование токов утечки сегнетоэлектрических конденсаторных элементов интегральных схем |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Сигов А.С. |
| | Подгорный Ю.В. |
| | Воротилов К.А. |
| Год публикации |
| | 2021 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2021-4-40-45 |
| УДК |
| | 537.226, 539.216.2 |
|
| Аннотация |
| | Рассмотрены вопросы моделирования токов утечки сегнетоэлектрических элементов интегральных схем. Предложена модель, адекватно описывающая вольт-амперные характеристики с учетом полевой миграции кислородных вакансий. |
| Ключевые слова |
| | интегральная схема, сегнетоэлектрики, токи утечки, моделирование. |
| Ссылка на статью |
| | Сигов А.С., Подгорный Ю.В., Воротилов К.А. Моделирование токов утечки сегнетоэлектрических конденсаторных элементов интегральных схем // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2021. Выпуск 4. С. 40-45. doi:10.31114/2078-7707-2021-4-40-45 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2021/pdf/D051.pdf |
