| Исследование электрофизических свойств p–n+-перехода с помощью моделирования в декартовой и цилиндрической системах координат |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Лагунович Н.Л. |
| Год публикации |
| | 2021 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2021-1-33-38 |
| УДК |
| | 621.382.232.032.2 (045) |
|
| Аннотация |
| | Основной целью данной работы было выполнение двух-мерного моделирования перехода p–n+-типа в кремнии как в декартовой (прямоугольной), так и в цилиндрической системах координат. Для выполнения приборного моделирования исследованного перехода в указанных системах координат необходимо было предварительно получить структуру перехода, для чего было выполнено его двухмерное технологическое моделирование с помо-щью программы TSuprem4, которая является частью программного комплекса фирмы Synopsys. По результа-там технологического моделирования были определены значения конструктивно-технологических параметров исследуемой структуры p–n+-перехода. Приборное моде-лирование как в декартовой, так и в цилиндрической системах координат было осуществлено с использовани-ем программы для двухмерного моделирования элек-трических характеристик прибора Medici, также явля-ющейся составной частью комплекса фирмы Synopsys. Приборное моделирование позволило оценить значения некоторых электро-физических параметров перехода и построить его пробивные характеристики как для слу-чая моделирования в декартовой, так и для случая мо-делирования в цилиндрической системах координат. Сравнительный анализ результатов приборно-технологического моделирования показал, что для рас-сматриваемого p–n+-перехода разница в значениях тех-нологических и электрофизических параметров при рас-чётах в декартовой и цилиндрической системах коорди-нат незначительна, составляет от 2.6% до 7.4% для тех-нологического моделирования и 1–1.5% для приборного моделирования, и ей можно пренебречь. Следовательно, рассматриваемую структуру можно моделировать в обе-их системах координат с достаточно высокой степенью точности. |
| Ключевые слова |
| | p–n-переход; моделирование полупроводниковых струк-тур; система координат; технологический процесс; тех-нологический параметр; электрофизический параметр, вольт-амперная характеристика. |
| Ссылка на статью |
| | Лагунович Н.Л. Исследование электрофизических свойств p–n+-перехода с помощью моделирования в декартовой и цилиндрической системах координат // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2021. Выпуск 1. С. 33-38. doi:10.31114/2078-7707-2021-1-33-38 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2021/pdf/D003.pdf |
