| Радиочастотный микромеханический переключатель с высоким отношением емкости |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Ткаченко А.В. |
| | Лысенко И.Е. |
| Год публикации |
| | 2020 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2020-3-237-243 |
| УДК |
| | 621.318.51, 621.3.049.7 |
|
| Аннотация |
| | В данной статье проведено моделирование разработанной конструкции шунтирующего радиочастотного микромеханического переключателя с омическим типом контакта и высоким коэффициентом емкости с подвижной металлической мембраной, расположенной на заземляющих линиях копланарного волновода. Для повышения коэффициента емкости в разработанной конструкции радиочастотного микромеханического переключателя используется неподвижный конденсатор с обкладками металл-диэлектрик-металл. Для снижения величины управляющего напряжения и повышения скорости переключателя в представленной конструкции радиочастотного микромеханического переключателя применен неоднородный змеевидный тип упругого подвеса. Результаты проведенного моделирования электромеханических параметров и электромагнитных параметров рассеивания показывают, что разработанная конструкция шунтирующего РЧ МЭМС переключателя подходит для использования в S-частотном диапазоне и проектирования современных реконфигурируемых многополосных беспроводных устройств. |
| Ключевые слова |
| | радиочастотный микромеханический переключатель, неоднородный змеевидный упругий подвес, высокий коэффициент емкости, высокая изоляция, малые потери на отражение. |
| Ссылка на статью |
| | Ткаченко А.В., Лысенко И.Е. Радиочастотный микромеханический переключатель с высоким отношением емкости // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2020. Выпуск 3. С. 237-243. doi:10.31114/2078-7707-2020-3-237-243 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2020/pdf/D102.pdf |
