| Исследование нелинейных эффектов при моделировании чувствительного элемента МЭМС-вакуумметра |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Волкова Е.И. |
| | Попков С.А. |
| Год публикации |
| | 2020 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2020-3-108-113 |
| УДК |
| | 531.788 |
|
| Аннотация |
| | в работе рассмотрена задача по нахождению добротности резонатора, входящего в конструкцию чувствительного элемента МЭМС-вакуумметра, с помощью численного моделирования и аналитических оценок с учетом вклада от нелинейных эффектов, в частности газодинамического демпфирования и pull-in эффекта. |
| Ключевые слова |
| | МЭМС, вакуумметр, добротность, резонатор, демпфирование, SQFD, pull-in эффект. |
| Ссылка на статью |
| | Волкова Е.И., Попков С.А. Исследование нелинейных эффектов при моделировании чувствительного элемента МЭМС-вакуумметра // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2020. Выпуск 3. С. 108-113. doi:10.31114/2078-7707-2020-3-108-113 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2020/pdf/D076.pdf |
