| Математическое моделирование электромиграционных отказов межуровневых соединений БИС |
|
|
| Авторы |
| | Петросянц К.О. |
| | Ширабайкин Д.Б. |
| Год публикации |
| | 2006 |
| УДК |
| | 621.38 |
|
| Аннотация |
| | Повышение производительности ИМС напрямую связано с уменьшением характерных размеров их структурных элементов. Одна из основных причин выхода из строя ИМС - электромиграционное разрушение проводников. Перераспределение вакансий
под действием электрического тока приводит к
возникновению неоднородных деформаций и росту
механических напряжений. Выход вакансий на
поверхность проводника приводит к отказу проводника. Предлагается общая 3D модель отказа проводящего элемента, упрощенная 2D модель, и численный алгоритм расчета долговечности. Приводятся замкнутые системы дифференциальных уравнений, описывающие электромиграцию и вызываемые ей деформации проводника. Получены результаты расчетов долговечности и механических напряжений для алюминиевых и медных проводников различной геометрии. Применение предлагаемых моделей позволяет при проектировании определить
электромиграционную долговечность ИМС. |
| Ключевые слова |
| | электромиграционные отказы |
| Ссылка на статью |
| | Петросянц К.О., Ширабайкин Д.Б. Математическое моделирование электромиграционных отказов межуровневых соединений БИС // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 142-147. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2006/24.pdf |
