| Разработка и исследование элемента Холла по технологии 180 нм |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Прокофьев Г.В. |
| | Попов А.Д. |
| | Тимофеев А.Е. |
| | Косолапов М.А. |
| | Архипов В.В. |
| Год публикации |
| | 2020 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2020-2-16-21 |
| УДК |
| | 681.586.728 |
|
| Аннотация |
| | Выполнено численное моделирование элемента Холла по технологии X-FAB XH018. Результаты моделирования были использованы для предварительной оценки электрических и магнитных характеристик датчика. После изготовления тестовых датчиков Холла проведены экспериментальные исследования, приведено сравнение с результатами моделирования. На основе экспериментальных результатов разработана поведенческая модель датчика на языке Verilog –A для использования в системах проектирования. |
| Ключевые слова |
| | технологический маршрут, элемент Холла, магниточувствительность, датчики положения, поведенческая модель. |
| Ссылка на статью |
| | Прокофьев Г.В., Попов А.Д., Тимофеев А.Е., Косолапов М.А., Архипов В.В. Разработка и исследование элемента Холла по технологии 180 нм // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2020. Выпуск 2. С. 16-21. doi:10.31114/2078-7707-2020-2-16-21 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2020/pdf/D017.pdf |
