Новый алгоритм вычисления двумерных емкостей в задачах экстракции

Бойко, А.Я.; Безруков, А.Е.; Русаков, Александр Сергеевич; Ткачев, Д.Ф.; Хапаев, М.М.

Главная Авторы Статьи Год проведения Тематика Организации Конференция МЭС

Авторы

Год публикации

2006

УДК

519.63

Аннотация

В данной статье представлены результаты разработки нового алгоритма и программы вычисления двумерных погонных емкостей (N2D) на базе метода граничных элементов (МГЭ). Новый алгоритм основан на классическом методе Галеркина для решения уравнения Лапласа. Метод имеет высокую точность вычисления емкостей даже при грубой численной дискретизации интегральных уравнений. Все элементы матрицы вычисляются аналитически, что позволяет значительно увеличить точность вычислений на грубой сетке граничных сегментов. В программе вычисления емкостей реализованы несколько стратегий генерации сеток, оптимизированных для задач, возникающих при нахождении паразитных емкостей. Программа (N2D) позволяет точно вычислять производные емкостей к геометрическим параметрам решением уравнений чувствительности без использования численного дифференцирования.

Ключевые слова

экстракция емкостей, метод граничных элементов, расчет чувствительности.

Ссылка на статью

Бойко А.Я., Безруков А.Е., Русаков А.С., Ткачев Д.Ф., Хапаев М.М. Новый алгоритм вычисления двумерных емкостей в задачах экстракции // Проблемы разработки перспективных микроэлектронных систем - 2006. Сборник научных трудов / под общ. ред. А.Л.Стемпковского. М.:ИППМ РАН, 2006. С. 76-80.

Адрес статьи

http://www.mes-conference.ru/data/year2006/12.pdf