Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

О совместном применении матричного метода и аппарата обобщённых степеней Берса для математического моделирования процессов тепломассопереноса в полупроводниковых материалах электронной техники
Авторы
	Калманович В.В.
	Степович М.А.
Год публикации
	2018
DOI
	10.31114/2078-7707-2018-3-194-201
УДК
	51-73, 517.927.2, 538.97
Аннотация
	Для математического моделирования явлений тепло-массопереноса, обусловленных взаимодействием заряженных частиц или электромагнитного излучения с поверхностью многослойной полупроводниковой мишени, разработан матричный метод, который используется совместно с методом обобщенных степеней Берса. Разработанный метод является аналитическим и позволяет получать решение задач тепломассопереноса для произвольного количества слоёв как в случае однородной, так и неоднородной среды внутри каждого слоя. Также рассматривается возможность использования метода в качестве численного для решения неоднородных уравнений тепломассопереноса.
Ключевые слова
	математическое моделирование, заряженные частицы, электромагнитное излучение, полупроводник, явления тепломассопереноса, матричный метод, обобщённые степени Берса.
Ссылка на статью
	Калманович В.В., Степович М.А. О совместном применении матричного метода и аппарата обобщённых степеней Берса для математического моделирования процессов тепломассопереноса в полупроводниковых материалах электронной техники // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем. 2018. Выпуск 3. С. 194-201. doi:10.31114/2078-7707-2018-3-194-201
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2018/pdf/D088.pdf