| Разработка и тестирование интегральной схемы для микромеханического акселерометра |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Беляев Я.В. |
| | Костыгов Д.В. |
| | Лемко И.В. |
| | Михтеева А. |
| | Невирковец Н.Н. |
| Год публикации |
| | 2018 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2018-4-49-56 |
| УДК |
| | 621.3.049.77 |
|
| Аннотация |
| | Рассматриваются этапы разработки и тестирования интегральной схемы для микромеханического акселерометра. Приведен маршрут разработки интегральной схемы начиная с системной модели акселерометра и заканчивая топологией интегральной схемы. Приведены результаты тестирования составных частей интегральной схемы и тестирования интегральной схемы совместно с чувствительным элементом. |
| Ключевые слова |
| | интегральная схема, микроэлектроника, микромеханические датчики, микроэлектромеханические системы. |
| Ссылка на статью |
| | Беляев Я.В., Костыгов Д.В., Лемко И.В., Михтеева А., Невирковец Н.Н. Разработка и тестирование интегральной схемы для микромеханического акселерометра // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем. 2018. Выпуск 4. С. 49-56. doi:10.31114/2078-7707-2018-4-49-56 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2018/pdf/D056.pdf |
