| Радиационная стойкость МЭМС-сенсоров и методика ее оценки |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Власов А.И. |
| | Милёшин С. |
| | Цивинская Т.А. |
| | Шахнов В.А. |
| Год публикации |
| | 2018 |
| DOI |
| | 10.31114/2078-7707-2018-4-190-196 |
| УДК |
| | 612.014 |
|
| Аннотация |
| | Статья посвящена анализу радиационной стойкости МЭМС-сенсоров на основе монокристаллического кремния в качестве конструкционного материала чувствительных элементов МЭМС. Основное внимание уделено методике оценки параметров радиационной стойкости. Приведен анализ факторов влияния радиации на МЭМС-сенсоры. Дан сравнительный анализ радиационной стойкости серийного акселерометра и заказного МЭМС сенсора. Предложена конструкция акселерометра, способного выдерживать космическое излучение большой интенсивности. |
| Ключевые слова |
| | монокристаллический кремний, радиационная стойкость, радиация, кремниевая мембрана, МЭМС - сенсоры. |
| Ссылка на статью |
| | Власов А.И., Милёшин С., Цивинская Т.А., Шахнов В.А. Радиационная стойкость МЭМС-сенсоров и методика ее оценки // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем. 2018. Выпуск 4. С. 190-196. doi:10.31114/2078-7707-2018-4-190-196 |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2018/pdf/D007.pdf |
