| Рациональный состав типовой оценочной схемы для контроля радиационной стойкости партий пластин базовых матричных кристаллов |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Московская Ю. |
| | Сорокоумов Г. |
| | Бобровский Д.В. |
| | Никифоров А.Ю. |
| | Денисов А.Н. |
| | Сницар В.Г. |
| | Жуков А.А. |
| | Уланова А.В. |
| Год публикации |
| | 2016 |
| УДК |
| | 621.382.2/.3 |
|
| Аннотация |
| | Предложен и обоснован выбор состава типовых оценочных схем для проведения испытаний партий пластин на радиационную стойкость в целях контроля стабильности технологического процесса. Предложен вариант состава типовых оценочных схем на основе БМК. |
| Ключевые слова |
| | типовая оценочная схема, базовый матричный кристалл, радиационная стойкость. |
| Ссылка на статью |
| | Московская Ю., Сорокоумов Г., Бобровский Д.В., Никифоров А.Ю., Денисов А.Н., Сницар В.Г., Жуков А.А., Уланова А.В. Рациональный состав типовой оценочной схемы для контроля радиационной стойкости партий пластин базовых матричных кристаллов // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 153-157. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D193.pdf |
