| Методика анализа электромиграции проводящих шин с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Сивченко А.С. |
| Год публикации |
| | 2016 |
| УДК |
| | 621.3.049.77 |
|
| Аннотация |
| | В статье рассмотрена методика определения электромиграции проводящих шин. Основой предложенной методики являются специально разработанные тестовые структуры, алгоритм измерения тестовых структур для контроля электромиграции, а также автоматизированная программа измерений, позволяющая проводить контроль электромиграции в автоматическом режиме. Представлены результаты измерения электромиграции в проводящих шинах, выполненных по 65 нм технологическому процессу. |
| Ключевые слова |
| | электромиграция, надёжность, тестовые структуры, контроль параметров технологического процесса, МОП–транзистор. |
| Ссылка на статью |
| | Сивченко А.С. Методика анализа электромиграции проводящих шин с помощью ускоренных измерений тестовых структур в составе пластин // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 43-50. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D171.pdf |
