| Одномерное приборно-технологическое моделирование элементов интегральных схем с использованием электронных таблиц |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Крупкина Т.Ю. |
| | Красюков А.Ю. |
| | Артамонова Е.А. |
| Год публикации |
| | 2016 |
| УДК |
| | 621.382 |
|
| Аннотация |
| | Разработаны программы приборного и технологического моделирования элементов интегральных схем в одномерном приближении с использованием электронных таблиц. Показаны возможности программ по приборному моделированию МДП-структур и p-n-переходов, а также по моделированию технологических маршрутов. Определены направления совершенствования возможностей созданных программ. |
| Ключевые слова |
| | Приборно-технологическое моделирование, TCAD, одномерное приближение, электронные таблицы |
| Ссылка на статью |
| | Крупкина Т.Ю., Красюков А.Ю., Артамонова Е.А. Одномерное приборно-технологическое моделирование элементов интегральных схем с использованием электронных таблиц // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 4. С. 24-31. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D083.pdf |
