Главная
Авторы Статьи Год проведения Тематика Организации Конференция МЭС
| Методы логико-временного анализа библиотечных элементов и блоков СБИС для перспективных технологий с вертикальным затвором транзистора |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Гаврилов С.В. |
| | Жукова Т.Д. |
| | Рыжова Д.И. |
| Год публикации |
| | 2016 |
| УДК |
| | 621.3.049.771.14 |
|
| Аннотация |
| | С уменьшением технологических размеров базовых элементов деградация электрических параметров транзисторов становится все более ощутимой, так как возрастает влияние негативных короткоканальных эффектов в транзисторах. Это, в свою очередь, приводит к необходимости разработки альтернативных технологических решений, которые лучше масштабируются и совместимы с производственным процессом КМОП технологии. Одним из перспективных решений в этой области является КМОП технология с трехмерным затвором транзистора. В зарубежной литературе используется термин FinFET (Fin Field Effect Transistor – полевой транзистор с трехмерной структурой в форме плавника). Преимуществами этой технологии являются низкая чувствительность к эффектам короткого канала транзистора и низкие подпороговые утечки. На сегодняшний день отсутствуют средства САПР для синтеза топологии схем на основе FinFET структур, так как при переходе к технологиям 22 нм и ниже значительно увеличивается число конструкторско-технологических правил и ограничений. В данной работе предпринята попытка решения проблемы возрастающего числа норм проектирования за счет использования регулярных структур в слоях топологии. |
| Ключевые слова |
| | САПР (системы автоматизированного проектирования), SP-граф, сложно-функциональный блок (СФ-блок), FinFET транзисторы (транзисторы с трехмерной структурой в форме плавника), КМОП технология. |
| Ссылка на статью |
| | Гаврилов С.В., Жукова Т.Д., Рыжова Д.И. Методы логико-временного анализа библиотечных элементов и блоков СБИС для перспективных технологий с вертикальным затвором транзистора // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). 2016. № 1. С. 56-63. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2016/pdf/D006.pdf |
|
|
