| Моделирование радиационно-индуцированных токов утечки в МОП-структурах при воздействии гамма- и рентгеновского излучений |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Смолин А.А. |
| | Уланова А.В. |
| | Согоян А.В. |
| | Демидов А.А. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | 621.382.323 |
|
| Аннотация |
| | При воздействии рентгеновского и гамма-излучений на КМОП ИС в ряде случаев наблюдается различие дозовых зависимостей критериальных параметров. Данный эффект был изучен с помощью моделирования процесса накопления радиационно-индуцированного заряда в изолирующих окислах МОП-структур при воздействии гамма- и рентгеновского излучений. Установлена связь пространственного распределения центров захвата в осажденных окислах с кинетикой дозовой деградации токов утечки для двух типов из-лучения. |
| Ключевые слова |
| | МОП, STI, ток утечки, дозовая деградация, гамма излучение, рентгеновское излучение |
| Ссылка на статью |
| | Смолин А.А., Уланова А.В., Согоян А.В., Демидов А.А. Моделирование радиационно-индуцированных токов утечки в МОП-структурах при воздействии гамма- и рентгеновского излучений // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 3. С. 197-200. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D154.pdf |
