| Принципы проектирования и моделирование микротермомеханических приёмников ИК-изображения с оптическим считыванием |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Белин А.М. |
| | Белин М.А. |
| | Федирко В.А. |
| | Фетисов Е.А. |
| | Хафизов Р.З. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | 621.382.001 |
|
| Аннотация |
| | Рассмотрены принципиальные аспекты проектирования неохлаждаемых приёмников ИК-изображения на основе термомеханических микродетекторов с оптическим считыванием. Отмечены потенциальные преимущества. Представлены результаты теоретического и компьютерного моделирования микротермомеханических элементов для рассматриваемых систем. |
| Ключевые слова |
| | ИК-фотоприёмники, термомеханический ИК-детектор, оптическое считывание изображения, МЭМС-технологии, проектирование матрицы ИК-фотоприемника, теоретическое и компьютерное моделирование. |
| Ссылка на статью |
| | Белин А.М., Белин М.А., Федирко В.А., Фетисов Е.А., Хафизов Р.З. Принципы проектирования и моделирование микротермомеханических приёмников ИК-изображения с оптическим считыванием // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 189-192. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D096.pdf |
