| Метод моделирования функции передачи модуляции матричных фотоприемных СБИС |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Пугачев А.А. |
| | Иванова Г.А. |
| Год публикации |
| | 2014 |
| УДК |
| | 621.383.3 |
|
| Аннотация |
| | Предлагается метод моделирования функции передачи модуляции матричных фотоприемных СБИС с прямым вычислением величины модуляции для геометрической и диффузионной составляющей ФПМ. Метод позволяет анализировать ФПМ фотоприемников с произвольной топологией элементов и объемным профилем легирования. Метод применен при проектировании перспективных ПЗС и КМОП-фотодиодных СБИС. |
| Ключевые слова |
| | функция передачи модуляции, ПЗС, КМОП-ФД, приборно-технологическое моделирование |
| Ссылка на статью |
| | Пугачев А.А., Иванова Г.А. Метод моделирования функции передачи модуляции матричных фотоприемных СБИС // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 1. С. 65-70. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D085.pdf |
