Главная         Авторы   Статьи   Год проведения   Тематика   Организации        Конференция МЭС

Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2
Авторы
	Горобчук А.Г.
	Григорьев Ю.Н.
Год публикации
	2014
УДК
	621.382:519.688
Аннотация
	В рамках гидродинамического приближения моделируется технология плазмохимического травления кремния в плазме CF4/H2. Модель плазмохимической кинетики включала 28 определяющих газофазных реакций с участием F, F2, CF2, CF3, CF4, C2F6, H, H2, HF, CHF3, CH2F2. Показано, что большая часть фтора идет на формирование компоненты HF, что существенно снижает скорость травления кремния. На поверхности образца образуется адсорбционный слой CF2, который при 40% добавке H2 полностью покрывает поверхность кремния и прекращает процесс травления.
Ключевые слова
	плазмохимическое травление, плазмохимические реакторы, многокомпонентные смеси газов, математическое моделирование
Ссылка на статью
	Горобчук А.Г., Григорьев Ю.Н. Моделирование плазмохимической технологии травления кремния в смеси CF4/H2 // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2014. Часть 2. С. 137-140.
Адрес статьи
	http://www.mes-conference.ru/data/year2014/pdf/D017.pdf