| Моделирование нестационарных режимов работы
теплофизических микросенсоров |
|
 |
|
|
| Авторы |
| | Козлов А.Г. |
| Год публикации |
| | 2012 |
| УДК |
| | 681.586.6 |
|
| Аннотация |
| | Рассмотрен метод аналитического моделирования, позволяющий определять частотную характеристику теплофизических микросенсоров с консольными, мостовыми и мембранными термически изолиро-ванными структурами. В микросенсорах выделены области моделирования, которые в зависимости от состава слоев и условий тепловыделения разделены на зоны. Зоны заменены эквивалентными зонами с однородными параметрами. Для каждой зоны получено нестационарное уравнение теплопроводности, которое решено с использованием прямого преобразования Фурье по времени. Плотности тепловых потоков на границах между зонами определены с использованием граничных условий сопряжения. Получены аналитические выражения для нахождения частотных характеристик микросенсоров. Предложенный метод использован для определения модуля и аргумента частотных характеристик и временной зависимости температуры горячих спаев термопар тепловых приемников излучения при импульсном входном воздействии. |
| Ключевые слова |
| | теплофизический микросенсор, распределение температуры, преобразование Фурье, частотная характеристика, микроэлектронный тепловой приемник излучения |
| Ссылка на статью |
| | Козлов А.Г. Моделирование нестационарных режимов работы
теплофизических микросенсоров // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 662-667. |
| Адрес статьи |
| | http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D145.pdf |
