Автоматизированная пикосекундная лазерная установка для моделирования эффектов от отдельных заряженных частиц космического пространства в микроэлектронных приборах |
|
|
|
|
Авторы |
| Егоров А.Н. |
| Маврицкий О.Б. |
| Чумаков А.И. |
| Печенкин А.А. |
| Кольцов Д.О. |
Год публикации |
| 2012 |
УДК |
| 621.38 |
|
Аннотация |
| Представлены основные технические характеристики автоматизированной установки для моделирования локальных радиационных эффектов, созданной на основе перестраиваемого по длине волны твердотельного пикосекундного лазера. Обсуждаются ее конструктивные особенности, возможности и преимущества для моделирования эффектов от отдельных заряженных частиц космического пространства в современных микроэлектронных приборах на основе Si, GaAs, SiGe и др. |
Ключевые слова |
| отдельная заряженная частица; локальный радиационный эффект; радиационная стойкость; пикосекундный лазер; сфокусированное лазерное излучение |
Ссылка на статью |
| Егоров А.Н., Маврицкий О.Б., Чумаков А.И., Печенкин А.А., Кольцов Д.О. Автоматизированная пикосекундная лазерная установка для моделирования эффектов от отдельных заряженных частиц космического пространства в микроэлектронных приборах // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2012. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН, 2012. С. 604-607. |
Адрес статьи |
| http://www.mes-conference.ru/data/year2012/pdf/D124.pdf |